Ebenheit messen

Die Messung der Ebenheit von Flächen ist von großer Bedeutung in verschiedenen Anwendungen. Einige Beispiele sind die Prüfung der Dichtflächen zwischen zwei Körpern, wie beispielsweise der Zylinderkopfdichtung in Automobilen. Ebenheit messen, ist auch ein wichtiger Faktor bei der Herstellung von Vorprodukten in der Metallindustrie, wie zum Beispiel bei der Produktion von Achsenführungen für Messsysteme, oder in der Herstellung von Wafern in der Halbleiterindustrie.

Prinzipdarstellung Ebenheit messen einer Fläche

Grundlagen der Ebenheitsmessung

Eine Fläche ist dann eben, wenn sie über ihre gesamte Länge und breite keine Strukturen in ihrer Oberfläche aufweist. 

Diese Strukturen können folgendermaßen aussehen:

  • Berge und Täler als Unterbrechungen einer Mittellinie von Länge oder Breite.
  • Risse sind nichtstetige Unterbrechungen mit unterschiedlicher Tiefe in der Ebene des Grundmaterials.
  • Falten sind längliche Aufwerfungen.
  • Riefen und Kratzer sind mechanische Beschädigungen der Oberfläche durch scharfe Gegenstände.
  • Wellen sind Wechsel von Bergen und Tälern.
  • Die Rauheit ist die regelmäßig wiederkehrende und sehr kleine Formabweichung entlang einer Wellenlinie.
  • Beulen sind konvexe Unterbrechungen entlang der Ebene.
  • Poren weisen meist eine konkave Form auf.


Für die Messung einer Ebene auf Planarität gibt es optische (berührungslose) oder taktile Verfahren.

Methoden der Ebenheitsmessung

Optische Verfahren sind unter anderem:

  • Chromatisch Konfokale Messtechnik
  • Weißlicht-Interferometrie
  • Laser Linien Triangulation

Für die taktile Messung stehen folgende Verfahren zur Auswahl:

  • 3-D-Koordinatenmessverfahren
  • Tastschrittverfahren

Die Unterschiede der Methoden

Die optische, chromatisch Konfokale Messtechnik verwendet den Effekt der unterschiedlichen Brechung verschiedener Wellenlängen in Glas.

Messungen mit Weißlicht- und Laser-Interferometrie verwendet das Streuverhalten von reflektiertem Licht zur Bestimmung einer Oberflächenstruktur.

Bei der Laser Linien Triangulation, dem optischen Messverfahren welches QuellTech einsetzt, wird eine Oberfläche kontinuierlich mit einer Laserlinie abgefahren. Die diffusen Reflexionen der Laserlinie werden über einen Sensor aufgezeichnet. Aus den so aufgezeichneten Profildaten kann ein Computer eine 3D-Punktewolke einer gescannten Oberfläche aufnehmen. Die Laser Linien Triangulation als optisches Messverfahren, ist daher besonders gut geeignet, die Oberflächenplanheit von Vormaterial, Profilen, Schienen, Bandmaterial zu prüfen.

Das taktile Tastschrittverfahren hingegen führt die Ebenheitsmessung mithilfe eines aufliegenden Messkopfes durch. Diese Messung eignet sich sehr gut für sehr kleine Messstrecken, bei denen es auf maximale Präzision ankommt. Da der Tastkopf üblicherweise eine Kugelform mit gewissem Durchmesser aufweist, kann dieser damit nicht in jedes beliebig kleine Tal von wenigen µm eintauchen.

Bei der Vermessung einer Ebenheit durch das taktile 3-D-Koordinatenmessverfahren ist es erforderlich, dass eine taktile Berührung der Oberfläche mit einem Messkopf erforderlich ist.

3D Punktwolke der Ebenheitsmessung der Fläche bei einer Dichtungsfläche

Ebenheit messen mit QuellTech

QuellTech verwendet das Messverfahren der Laser Linien Triangulation. Hierbei werden Laserprofile mit bis zu 4096 Punkten pro Profil aufgenommen. Dabei sind Genauigkeiten von bis zu 2 µm erreichbar.

Im Unterschied zu den Taktilen Messverfahren, ist es möglich, dass auf einer Fläche von z.B. 50 x 100 mm, mehrere Millionen Messpunkte in wenigen Sekunden aufgenommen werden können: Ebenheit messen in höchster Präzision.
Diese hohe Anzahl von Messpunkten ermöglicht eine präzise und komplette Erfassung der Ebenheit in kurzer Zeit. Der Vorteil gegenüber einer taktilen Messung liegt darin, dass ein Laserlicht in kleinste Oberflächenstrukturen eindringen kann.

Weiterhin kann mit der Laser Linien Triangulation auch die Koplanarität gemessen werden. Dabei wird z.B. mit einem Laserscanner die Oberseite eines Messobjektes und gleichzeitig mit einem zweiten Laserscanner dieselbe Unterseite des Messobjektes abgetastet. So kann die Parallelität dieser beiden Flächen zueinander berechnet werden.

Welche Vorteile bietet die Ebenheitsmessung von QuellTech?

Anwendungsgebiete für die Messung von Ebenheit

Beispiele zur Ebenheitsmessung mit QuellTech

Wir haben in der Vergangenheit bei verschiedensten Projekten Quelltech-Lösungen zur Herausforderung “Ebenheit messen” eingesetzt. Hier finden Sie einen kleinen Auszug dieser Projekte:

QuellTech Products zur Ebenheitsmessung

Q6 Laserscanner

Die QuellTech Q6 Laser Scanner Produktserie hat sich bewährt in anspruchsvollen industriellen Anwendungen, die ein hohes Maß an Präzision, Prozessstabilität und hohe Verfahrgeschwindigkeiten erfordern.

Weitere Informationen: Q6 Laserscanner

Q5 Laserscanner

Die QuellTech Q5 Laserscanner Serie verbinden Vorteile von kleinen Formfaktoren bei hoher Auflösung und schneller Scan Rate. Der Q5 eignet sich für Messanwendungen mit begrenztem Raumbedarf und bei robusten Anforderungen in der Umgebung.

Weitere Informationen: Q5 Laserscanner

Q6 Laser Scanner

Q5 Laser Scanner

Haben Sie eine spezifische Messaufgabe?

Wir helfen Ihnen gern damit!

Stefan Ringwald

Technischer Berater

Können wir Sie bei der Ebenheitsmessung unterstützen?

Wenn Sie Fragen zur Ebenheitsmessung haben oder eine Beratung von QuellTech zu diesem Thema wünschen, stehen wir Ihnen gerne zur Verfügung.

Wir möchten Ihnen helfen, Ihre spezifische Messaufgabe zu evaluieren. Durch eine erste kostenfreie Testmessung Ihrer Anwendung können wir bereits frühzeitig eine Einschätzung zur Machbarkeit geben.

Es gibt immer Potential für Verbesserungen, wir helfen Ihnen dabei. Sprechen Sie uns an, um weitere Informationen zu erhalten oder einen Termin für eine Beratung zu vereinbaren.

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