Ebenheit messen

Die Messung der Ebenheit von Flächen ist von großer Bedeutung in verschiedenen Anwendungen. Einige Beispiele sind die Prüfung der Dichtflächen zwischen zwei Körpern, wie beispielsweise der Zylinderkopfdichtung in Automobilen. Ebenheit messen, ist auch ein wichtiger Faktor bei der Herstellung von Vorprodukten in der Metallindustrie, wie zum Beispiel bei der Produktion von Achsenführungen für Messsysteme, oder in der Herstellung von Wafern in der Halbleiterindustrie.

Definition Ebenheit

Die Ebenheit bezeichnet die Differenz des höchsten und tiefsten Punktes einer Oberfläche, die sich zwischen zwei idealen ebenen (planaren) Flächen befindet. Der Abstand der beiden planaren Flächen definiert die Toleranz der Ebenheit.

In der realen Welt kann man Ebenheiten von einigen Nanometern erreichen, z.B. bei hochpolierten Planglasflächen. Bei metallischen Messobjekten, die mit den üblichen Produktionsmethoden in großer Stückzahl hergestellt werden, sind Ebenheitstoleranzen von wenigen µm bis einigen Zehntel mm üblich.